与薄膜层分析有关的设备包括在其间具有腔体(104)的两个层结构(100,102)，以及穿过层结构中的一个(102)达到腔体(104)的开口(110)，所述腔体(104)构造为通过开口(110)接收用于在腔体(104)内形成薄膜层(900)的材料。
两个层结构(100,102)中的至少一个包括用于与薄膜层(900)有关的分析的至少一个位置标记(108)。

R·普鲁宁 高峰

芬兰国家技术研究中心股份公司

芬兰埃斯堡市

与薄膜层分析有关的设备包括在其间具有腔体(104)的两个层结构(100,102)，以及穿过层结构中的一个(102)达到腔体(104)的开口(110)，所述腔体(104)构造为通过开口(110)接收用于在腔体(104)内形成薄膜层(900)的材料。
两个层结构(100,102)中的至少一个包括用于与薄膜层(900)有关的分析的至少一个位置标记(108)。