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专利摘要

本发明的绝热性遮蔽构件,是在单晶制造装置(10)中配置于原料收纳部(3)与基板支承部(4)之间而被使用的构件,所述单晶制造装置(10)是从原料收纳部(3)使原料(M)升华从而在基板(S)上使原料(M)的单晶(W)生长的装置,其具备结晶生长用容器(2)、和配置于该结晶生长用容器(2)的外周的加热单元(5),结晶生长用容器(2)具备位于其下部的原料收纳部(3)、和配置于原料收纳部(3)的上方而以与原料收纳部(3)对向的方式支承结晶生长用基板(S)的基板支承部(4)。

专利状态

基础信息

专利号
CN201910335471.0
申请日
2019-04-24
公开日
2019-11-05
公开号
CN110408997A
主分类号
/C/C30/ 化学;冶金
标准类别
晶体生长
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
审查中-实审

发明人

藤川阳平

申请人

昭和电工株式会社

申请人地址

日本东京都

专利摘要

本发明的绝热性遮蔽构件,是在单晶制造装置(10)中配置于原料收纳部(3)与基板支承部(4)之间而被使用的构件,所述单晶制造装置(10)是从原料收纳部(3)使原料(M)升华从而在基板(S)上使原料(M)的单晶(W)生长的装置,其具备结晶生长用容器(2)、和配置于该结晶生长用容器(2)的外周的加热单元(5),结晶生长用容器(2)具备位于其下部的原料收纳部(3)、和配置于原料收纳部(3)的上方而以与原料收纳部(3)对向的方式支承结晶生长用基板(S)的基板支承部(4)。

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