本实用新型公开了一种扩散炉送料机构，包括水平滑轨组件、推拉舟组件以及，隔热挡板。
水平滑轨组件包括水平轨道，以及在水平轨道上近扩散炉的炉口处设有的行程开关；推拉舟组件包括适于与水平轨道滑动相接的推拉舟，以及与推拉舟固连的用于支承晶体的且适于部分地伸入至扩散炉内的水平悬臂；在推拉舟上设有适于触发行程开关的触发件；隔热挡板位于行程开关的上方且一端与水平轨道铰接；隔热挡板适于在水平悬臂与行程开关之间形成隔挡。
本实用新型的扩散炉送料机构通过设计的隔热挡板可有效避免行程开关因为高温晶体而受损，从而延长行程开关的使用寿命。

贾峻峰 郭锐 周晰

常州银河世纪微电子股份有限公司

213022 江苏省常州市新北区长江北路19号

本实用新型公开了一种扩散炉送料机构，包括水平滑轨组件、推拉舟组件以及，隔热挡板。
水平滑轨组件包括水平轨道，以及在水平轨道上近扩散炉的炉口处设有的行程开关；推拉舟组件包括适于与水平轨道滑动相接的推拉舟，以及与推拉舟固连的用于支承晶体的且适于部分地伸入至扩散炉内的水平悬臂；在推拉舟上设有适于触发行程开关的触发件；隔热挡板位于行程开关的上方且一端与水平轨道铰接；隔热挡板适于在水平悬臂与行程开关之间形成隔挡。
本实用新型的扩散炉送料机构通过设计的隔热挡板可有效避免行程开关因为高温晶体而受损，从而延长行程开关的使用寿命。