本实用新型公开了一种区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构,包括固定底座,所述固定底座顶部固定连接有夹持装置,所述夹持装置包括支撑筒、定位杆、限位块、转动头、卡接件、支撑板、挡板、定位块、转轴、滚动柱和缓冲件,所述固定底座固定套接在支撑筒外侧,且支撑筒内部设有通孔,所述定位杆设有三个,且三个定位杆等角度固定在固定底座顶部,所述定位杆位于支撑筒外侧,且限位块固定连接在定位杆顶部,所述转动头通过销轴与限位块铰接,此区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构,通过支撑筒外侧三个滚动柱,从而对单晶硅棒进行夹持稳定,同时三个滚动柱在长期使用后可以快速更换,提高了单晶硅棒的生产速率。
杨光宇
锐捷芯盛(天津)电子科技有限公司
300000 天津市滨海新区华苑产业区梅苑路9号2号楼2门502
本实用新型公开了一种区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构,包括固定底座,所述固定底座顶部固定连接有夹持装置,所述夹持装置包括支撑筒、定位杆、限位块、转动头、卡接件、支撑板、挡板、定位块、转轴、滚动柱和缓冲件,所述固定底座固定套接在支撑筒外侧,且支撑筒内部设有通孔,所述定位杆设有三个,且三个定位杆等角度固定在固定底座顶部,所述定位杆位于支撑筒外侧,且限位块固定连接在定位杆顶部,所述转动头通过销轴与限位块铰接,此区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构,通过支撑筒外侧三个滚动柱,从而对单晶硅棒进行夹持稳定,同时三个滚动柱在长期使用后可以快速更换,提高了单晶硅棒的生产速率。