本实用新型提供一种具有断电延时保护功能的扩散炉,包括螺母座一、主动带轮、电机、丝杆一、螺母座二、导向滑块以及导向槽,螺母座一装配在丝杆一上,主动带轮安装在丝杆一右端,且主动带轮通过同步带与从动带轮相连接,电机固定在立板右端面上,丝杆一与丝杆二前后对称设置在壳体右表面上,螺母座二安装在丝杆二上,该设计实现了工件的快速导入导出功能,机械化程度高,导向滑块固定在载料架后端面上,且导向滑块装配在导向槽内,所述导向槽开设在扩散炉本体内环形侧面上,该设计实现了载料架的精确导向移动功能,本实用新型结构合理,机械化程度高,加工效率高,稳定性好。
赵鹏 赵子程
青岛华钰微电子科技有限公司
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本实用新型提供一种具有断电延时保护功能的扩散炉,包括螺母座一、主动带轮、电机、丝杆一、螺母座二、导向滑块以及导向槽,螺母座一装配在丝杆一上,主动带轮安装在丝杆一右端,且主动带轮通过同步带与从动带轮相连接,电机固定在立板右端面上,丝杆一与丝杆二前后对称设置在壳体右表面上,螺母座二安装在丝杆二上,该设计实现了工件的快速导入导出功能,机械化程度高,导向滑块固定在载料架后端面上,且导向滑块装配在导向槽内,所述导向槽开设在扩散炉本体内环形侧面上,该设计实现了载料架的精确导向移动功能,本实用新型结构合理,机械化程度高,加工效率高,稳定性好。