本发明涉及一种抑制泡生法生长蓝宝石单晶缩肩的冷却装置。
该结构整体由导热管、吸热管、散热管组成，导热管为圆环形管路，位于坩埚与加热体之间上部四分之一位置，围绕并靠近坩埚，不与加热体接触，吸热管、散热管与导热管连通且位置对称，通过小炉盖延伸至炉体外部，并与蒸发机连接。
导热管、吸热管、散热管均为钨钼材质。
本发明结构简单，便于安装、拆卸、维修，同时可灵活调节单晶上部缩肩位置换热量，进而改变晶体生长形态，有效抑制晶体缩肩，提高晶体出材。

左洪波 杨鑫宏 李铁 吴岩

哈尔滨秋硕半导体科技有限公司

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街357号

本发明涉及一种抑制泡生法生长蓝宝石单晶缩肩的冷却装置。
该结构整体由导热管、吸热管、散热管组成，导热管为圆环形管路，位于坩埚与加热体之间上部四分之一位置，围绕并靠近坩埚，不与加热体接触，吸热管、散热管与导热管连通且位置对称，通过小炉盖延伸至炉体外部，并与蒸发机连接。
导热管、吸热管、散热管均为钨钼材质。
本发明结构简单，便于安装、拆卸、维修，同时可灵活调节单晶上部缩肩位置换热量，进而改变晶体生长形态，有效抑制晶体缩肩，提高晶体出材。