本实用新型公开了一种改进型蓝宝石长晶炉通气结构,属于熔体籽晶法单晶生长设备技术领域。
主要包括入气管道、籽晶夹持杆及籽晶夹头、入气口位置,其特征在于:入气管道与籽晶夹持杆同轴,管道穿过炉盖,管道底端与坩埚盖上表面齐平,入气口位置在管道底端。
本实用新型可以有效地维持坩埚内正常的温度梯度,保持籽晶表面清洁,使结晶顺利地进行,保证晶体的质量。
刘世全 周显智 王展航
深圳晶蓝地光电科技有限公司
518106 广东省深圳市光明新区公明李松蓢社区第一工业区科瑞泰工业园一栋
本实用新型公开了一种改进型蓝宝石长晶炉通气结构,属于熔体籽晶法单晶生长设备技术领域。
主要包括入气管道、籽晶夹持杆及籽晶夹头、入气口位置,其特征在于:入气管道与籽晶夹持杆同轴,管道穿过炉盖,管道底端与坩埚盖上表面齐平,入气口位置在管道底端。
本实用新型可以有效地维持坩埚内正常的温度梯度,保持籽晶表面清洁,使结晶顺利地进行,保证晶体的质量。