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专利摘要

本实用新型公开了一种用于扩散炉的多管排废系统,包括主排废管、废液收集管和与废液收集管连通的废液收集瓶,还包括若干根排废小管,所述若干根排废小管的两端分别与所述主排废管和所述废液收集管连通,每根所述排废小管上设置与该排废小管连通的酸排管接头,所述酸排管接头与酸排管连通。
该多管排废系统使得各个酸排管之间的排废压力不会发生干涉。

专利状态

基础信息

专利号
CN201621134732.0
申请日
2016-10-19
公开日
2017-07-18
公开号
CN206337326U
主分类号
/C/C30/ 化学;冶金
标准类别
晶体生长
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
授权

发明人

文鸥 张勇

申请人

深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

申请人地址

518000 广东省深圳市龙岗区横岗街道横坪公路89号数字硅谷(涌鑫工业园)D栋

专利摘要

本实用新型公开了一种用于扩散炉的多管排废系统,包括主排废管、废液收集管和与废液收集管连通的废液收集瓶,还包括若干根排废小管,所述若干根排废小管的两端分别与所述主排废管和所述废液收集管连通,每根所述排废小管上设置与该排废小管连通的酸排管接头,所述酸排管接头与酸排管连通。
该多管排废系统使得各个酸排管之间的排废压力不会发生干涉。

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