目录

专利摘要

本实用新型公开了一种硼扩散炉的炉门,包括石英炉门本体,该炉门还包括与所述石英炉门本体的内端面相连,且在所述石英炉门本体关闭时嵌入炉管内的石英挡盘,所述石英挡盘的直径与所述炉管的直径相等。
由于在石英炉门本体的内端面上设置了石英挡盘,该石英挡盘的直径与炉管的直径相等,并且在石英炉门本体关闭时该石英挡盘可以嵌入炉管内,因而该石英挡盘可以有效阻止炉管内的硼源与石英炉门本体接触,大部分的硼源将被石英挡盘阻挡在远离石英炉门本体的位置,这就减少了硼源与石英炉门本体发生的化学反应,延缓了石英炉门本体被腐蚀的速度,因此也就延长了炉门的使用寿命。
本实用新型还公开了一种具有上述炉门的硼扩散炉。

专利状态

基础信息

专利号
CN201520844608.2
申请日
2015-10-28
公开日
2016-03-16
公开号
CN205088336U
主分类号
/C/C30/ 化学;冶金
标准类别
晶体生长
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
授权

发明人

胡亚男 戎帅

申请人

英利能源(中国)有限公司

申请人地址

071051 河北省保定市朝阳北大街3399号

专利摘要

本实用新型公开了一种硼扩散炉的炉门,包括石英炉门本体,该炉门还包括与所述石英炉门本体的内端面相连,且在所述石英炉门本体关闭时嵌入炉管内的石英挡盘,所述石英挡盘的直径与所述炉管的直径相等。
由于在石英炉门本体的内端面上设置了石英挡盘,该石英挡盘的直径与炉管的直径相等,并且在石英炉门本体关闭时该石英挡盘可以嵌入炉管内,因而该石英挡盘可以有效阻止炉管内的硼源与石英炉门本体接触,大部分的硼源将被石英挡盘阻挡在远离石英炉门本体的位置,这就减少了硼源与石英炉门本体发生的化学反应,延缓了石英炉门本体被腐蚀的速度,因此也就延长了炉门的使用寿命。
本实用新型还公开了一种具有上述炉门的硼扩散炉。

相似专利技术