本实用新型公开了一种硼扩散炉的炉门,包括石英炉门本体,该炉门还包括与所述石英炉门本体的内端面相连,且在所述石英炉门本体关闭时嵌入炉管内的石英挡盘,所述石英挡盘的直径与所述炉管的直径相等。
由于在石英炉门本体的内端面上设置了石英挡盘,该石英挡盘的直径与炉管的直径相等,并且在石英炉门本体关闭时该石英挡盘可以嵌入炉管内,因而该石英挡盘可以有效阻止炉管内的硼源与石英炉门本体接触,大部分的硼源将被石英挡盘阻挡在远离石英炉门本体的位置,这就减少了硼源与石英炉门本体发生的化学反应,延缓了石英炉门本体被腐蚀的速度,因此也就延长了炉门的使用寿命。
本实用新型还公开了一种具有上述炉门的硼扩散炉。
胡亚男 戎帅
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本实用新型公开了一种硼扩散炉的炉门,包括石英炉门本体,该炉门还包括与所述石英炉门本体的内端面相连,且在所述石英炉门本体关闭时嵌入炉管内的石英挡盘,所述石英挡盘的直径与所述炉管的直径相等。
由于在石英炉门本体的内端面上设置了石英挡盘,该石英挡盘的直径与炉管的直径相等,并且在石英炉门本体关闭时该石英挡盘可以嵌入炉管内,因而该石英挡盘可以有效阻止炉管内的硼源与石英炉门本体接触,大部分的硼源将被石英挡盘阻挡在远离石英炉门本体的位置,这就减少了硼源与石英炉门本体发生的化学反应,延缓了石英炉门本体被腐蚀的速度,因此也就延长了炉门的使用寿命。
本实用新型还公开了一种具有上述炉门的硼扩散炉。