一种接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置，包括可调节夹持机构、固定连接板、牵拉连接件，固定连接板位于定位件的上部，可调节夹持结构安装在固定连接板的下部表面，并且可调节夹持结构能够沿固定连接板的下部表面相对滑动，牵拉连接件固定设置在固定连接板的上部表面，牵拉连接件的顶部与牵引绳固定连接；本实用新型依照晶棒接着后的形状制作夹持装置，通过夹持装置将晶棒牢固夹持锁死，通过将定位件固定在工作台面上，可以使接着后晶棒下部粘接的工件板卡入到定位件中，从而将接着后晶棒进行定位，防止晶棒在接着力测量时上下移动。

赵延祥 刘波 程博 马玉怀

宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

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一种接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置，包括可调节夹持机构、固定连接板、牵拉连接件，固定连接板位于定位件的上部，可调节夹持结构安装在固定连接板的下部表面，并且可调节夹持结构能够沿固定连接板的下部表面相对滑动，牵拉连接件固定设置在固定连接板的上部表面，牵拉连接件的顶部与牵引绳固定连接；本实用新型依照晶棒接着后的形状制作夹持装置，通过夹持装置将晶棒牢固夹持锁死，通过将定位件固定在工作台面上，可以使接着后晶棒下部粘接的工件板卡入到定位件中，从而将接着后晶棒进行定位，防止晶棒在接着力测量时上下移动。