本发明涉及单晶硅技术领域，具体为一种单晶硅生产用石墨加热装置及其加热方法，该装置包括底座、门体、箱体、放置板和石墨烯加热膜，底座底部的拐角位置处皆固定有万向轮，底座的顶部固定有箱体，所述箱体一侧的表面安装有按钮开关，箱体的一侧铰接有门体，箱体内部的两侧皆设置有多个L型放置架，所述L型放置架远离防滑垫的一侧皆设置有固定螺栓，所述防滑垫上方L型放置架的内部皆设置有放置板，且放置板的内部皆开设有等间距的矩形沉槽。
本发明不仅实现了石墨加热装置对不同规格单晶硅加工用坩埚进行夹持固定的功能，实现了石墨加热装置对箱体内部环境的密封功能，而且实现了石墨加热装置度单晶硅加热时均匀加热的功能。

宋生宏 高玉顺 张培顺 祁永福 何旭 杨延生

阳光能源(青海)有限公司

810000 青海省西宁市西宁经济技术开发区金源路

本发明涉及单晶硅技术领域，具体为一种单晶硅生产用石墨加热装置及其加热方法，该装置包括底座、门体、箱体、放置板和石墨烯加热膜，底座底部的拐角位置处皆固定有万向轮，底座的顶部固定有箱体，所述箱体一侧的表面安装有按钮开关，箱体的一侧铰接有门体，箱体内部的两侧皆设置有多个L型放置架，所述L型放置架远离防滑垫的一侧皆设置有固定螺栓，所述防滑垫上方L型放置架的内部皆设置有放置板，且放置板的内部皆开设有等间距的矩形沉槽。
本发明不仅实现了石墨加热装置对不同规格单晶硅加工用坩埚进行夹持固定的功能，实现了石墨加热装置对箱体内部环境的密封功能，而且实现了石墨加热装置度单晶硅加热时均匀加热的功能。