一种准单晶薄膜及其制备方法,是将表面具有<111>优选方向的金属薄膜基于机械拉伸力的作用,使得晶粒的排列更为有序,来获得具有三轴优选方向的准单晶薄膜,此准单晶薄膜于拉伸方向及垂直拉伸方向各具有<211>与<110>的优选方向,且维持其表面<111>的优选方向。
本发明可用于生产高度异向性的大面积准单晶薄膜,亦可应用于成长二维材料或其他异向性特征结构的开发。
陈智 李昱瑾
财团法人交大思源基金会
中国台湾新竹市大学路1001号
一种准单晶薄膜及其制备方法,是将表面具有<111>优选方向的金属薄膜基于机械拉伸力的作用,使得晶粒的排列更为有序,来获得具有三轴优选方向的准单晶薄膜,此准单晶薄膜于拉伸方向及垂直拉伸方向各具有<211>与<110>的优选方向,且维持其表面<111>的优选方向。
本发明可用于生产高度异向性的大面积准单晶薄膜,亦可应用于成长二维材料或其他异向性特征结构的开发。