本发明涉及一种大尺寸碳化硅晶圆及其制备方法，其中，制备方法包括：在水溶液中对二氧化硅粉末进行球磨，制得二氧化硅水溶液；将所述二氧化硅水溶液与液态丙烯腈低聚物混合，经喷雾干燥，制得二氧化硅/液态丙烯腈低聚物复合材料；将所述二氧化硅/液态丙烯腈低聚物复合材料与石墨进行固相混合，经球磨后，制得二氧化硅/液态丙烯腈低聚物/石墨复合材料；依次在惰性气体的气氛以及空气气氛下，对所述二氧化硅/液态丙烯腈低聚物/石墨复合材料进行热处理，制得碳化硅粉末；将所述碳化硅粉末通过3D打印制得大尺寸碳化硅晶圆。
本发明采用3D打印技术制备大尺寸碳化硅晶圆，制备工艺简单，且可根据实际需求制备得到不同尺寸的碳化硅晶圆。

刘剑洪 黎烈武 杨鹏刚 张黔玲 扶勇欢 陈超

深圳市深源动力高纯硅技术有限公司

518000 广东省深圳市坪山区坪山街道和平社区兰金四路19号华瀚科技工业园2号厂房105

本发明涉及一种大尺寸碳化硅晶圆及其制备方法，其中，制备方法包括：在水溶液中对二氧化硅粉末进行球磨，制得二氧化硅水溶液；将所述二氧化硅水溶液与液态丙烯腈低聚物混合，经喷雾干燥，制得二氧化硅/液态丙烯腈低聚物复合材料；将所述二氧化硅/液态丙烯腈低聚物复合材料与石墨进行固相混合，经球磨后，制得二氧化硅/液态丙烯腈低聚物/石墨复合材料；依次在惰性气体的气氛以及空气气氛下，对所述二氧化硅/液态丙烯腈低聚物/石墨复合材料进行热处理，制得碳化硅粉末；将所述碳化硅粉末通过3D打印制得大尺寸碳化硅晶圆。
本发明采用3D打印技术制备大尺寸碳化硅晶圆，制备工艺简单，且可根据实际需求制备得到不同尺寸的碳化硅晶圆。