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一种带有驱动放大耦合结构的四质量微机械陀螺仪
摘要文本
本发明为一种带有驱动放大耦合结构的四质量微机械陀螺仪。陀螺为平面Z轴陀螺，包括关于X、Y轴镜像对称设置的四个质量块，质量块在检测轴Y方向上通过驱动解耦梁分别与质量块两侧的检测框架相连，关于X轴对称的两个检测框架通过耦合结构耦合，质量块上设置四个正交抑制电极；还包括设置在中心且平行于Y轴的驱动框架，驱动框架通过耦合放大结构和每个质量块中的检测解耦梁连接，驱动框架上设置多个驱动电极和四个驱动检测电极；耦合放大结构通过两端的类杠杆机构实现驱动位移放大和等效质量的提高。本发明放大了驱动位移、增大了等效质量，实现了机械灵敏度和机械热噪声的提升；提高了抗干扰能力，改善了静电非线性。 （来 自 马 克 数 据 网）
申请人信息
- 申请人:南京理工大学
- 申请人地址:210094 江苏省南京市孝陵卫200号
- 发明人: 南京理工大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种带有驱动放大耦合结构的四质量微机械陀螺仪 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410028994.1 |
| 申请日 | 2024/1/9 |
| 公告号 | CN117537794A |
| 公开日 | 2024/2/9 |
| IPC主分类号 | G01C19/5656 |
| 权利人 | 南京理工大学 |
| 发明人 | 葛少雷; 姜波; 苏岩; 王振军; 周同 |
| 地址 | 江苏省南京市孝陵卫200号 |
专利主权项内容
1.一种带有驱动放大耦合结构的四质量微机械陀螺仪，其特征在于，陀螺为平面Z轴陀螺，包括关于X、Y轴镜像对称设置的四个质量块，质量块在检测轴Y方向上通过驱动解耦梁分别与质量块两侧的检测框架相连，关于X轴对称的两个检测框架通过耦合结构耦合，质量块上设置四个正交抑制电极；还包括设置在中心且平行于Y轴的驱动框架，驱动框架通过耦合放大结构和每个质量块中的检测解耦梁连接，驱动框架上设置多个驱动电极和四个驱动检测电极，四个驱动检测电极分别关于X、Y轴镜像对称分布在陀螺的中心位置，构成差分检测；耦合放大结构通过两端的类杠杆机构实现驱动位移放大和等效质量的提高。