一种多场景适用的压差式气体流量测量装置及使用方法

专利主权项内容

1.一种多场景适用的压差式气体流量测量装置，包括前端气路模块、比例阀和后端气路模块；所述前端气路模块内部包括依次连接的接口气道、第一测量气道、压差孔、第二测量气道和输出气道；所述后端气路模块内部包括依次连接的后端测量气道和出口气道；所述比例阀通过气嘴接头分别连接所述输出气道和后端测量气道；其特征在于，还包括前端传感器模块、滑动模块和后端传感器模块；所述前端传感器模块包括紧贴于前端气路模块上端面的第一绝压测量模块和压差测量模块，所述后端传感器模块包括紧贴于后端气路模块上端面的第二绝压测量模块；所述滑动模块设置于前端气路模块侧面，用于控制压差孔孔径，包括直线电机、推杆和固定于推杆端部的滑块；所述直线电机控制推杆作直线往复运动，带动滑块在侧向滑轨内运动；滑块端面与滑轨端面间形成内径可变的压差孔。