一种硅片吸取移载机构
摘要文本
本发明涉及一种硅片吸取移载机构，包括运动轨道、运动套、承载组件和摆放座；所述承载组件的下方安置有对接架和组件架，所述组件架下方安置有吸盘组件，所述吸盘组件的拐角安置有气嘴，所述摆放座的边缘表面安置有承载架；所述对接架和组件架之间安置有对接模块一和对接模块二，所述对接模块一组装在对接架的侧边表面。依靠对接座一的下半段按压对称分布的阻隔座，致使对称分布的阻隔座联动联动座进行旋转，依靠牙纹二与牙纹一之间的咬合关系，能够辅助对接座一的下半段继续下降，在对接座一下降到指定位置，阻隔座将联动座进行限制，此时利用牙纹二与牙纹一的咬合传动关系，能够在一层作用下防止对接座一脱离或松动于对接室二。
申请人信息
- 申请人:南京卓胜自动化设备有限公司
- 申请人地址:210000 江苏省南京市雨花台区龙藏大道9号一层
- 发明人: 南京卓胜自动化设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种硅片吸取移载机构 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410156492.7 |
| 申请日 | 2024/2/4 |
| 公告号 | CN117690851A |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | H01L21/683 |
| 权利人 | 南京卓胜自动化设备有限公司 |
| 发明人 | 蒋旭东; 蒋成斌 |
| 地址 | 江苏省南京市雨花台区龙藏大道9号一层 |
专利主权项内容
1.一种硅片吸取移载机构，其特征在于：包括运动轨道(100)、运动套(101)、承载组件(102)和摆放座(200)；所述承载组件(102)的下方安置有对接架(103)和组件架(104)，所述组件架(104)下方安置有吸盘组件(105)，所述吸盘组件(105)的拐角安置有气嘴(106)，所述摆放座(200)的边缘表面安置有承载架(201)；所述对接架(103)和组件架(104)之间安置有对接模块一(300)和对接模块二(400)，所述对接模块一(300)组装在对接架(103)的侧边表面，所述对接模块二(400)组装在组件架(104)的上方表面，所述对接模块一(300)主要由对接座一(310)和衔接件(320)组成，所述衔接件(320)处在对接座一(310)的上方表面，且两者之间的连接关系为固联，衔接件(320)与对接架(103)依靠紧固件进行对接；所述对接模块二(400)主要由对接座二(410)以及对接通道(420)组成，所述对接通道(420)铣设在对接座二(410)的表面，所述对接通道(420)作用为对接座二(410)与组件架(104)的对接件，所述对接座二(410)的表面预留有对接室一(411)，所述对接座二(410)的中部预留有对接室二(412)，其中对接室一(411)与对接室二(412)为贯通的连接关系，所述对接室一(411)的左、右间距与牙纹一(311)左、右两极端之间的距离相匹配；所述对接室二(412)中安置有联动座(500)，所述联动座(500)上半段的外周壁呈阵列的方式分布有牙纹二(501)，所述牙纹二(501)呈扇形分布。