一种制备液晶衍射元件的曝光装置

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本发明公开了一种制备液晶衍射元件的曝光装置，包括光源、扩束准直器、相位产生器和样品板；扩束准直器用于将光源发出的光转变为能量均匀的平行光；相位产生器将平行光产生所需相位，照射在样品板上，样品板上的光敏取向材料得到相位产生器产生的相位并传递至液晶分子层，形成液晶衍射元件；样品板倾斜设置。本发明能够高效地制备得到液晶衍射元件，为快速、稳定、大规模的液晶衍射元件生产提供可能，有利于大规模推广应用，降低对环境的振动、温湿度等的高要求；曝光装置的曝光稳定性好，曝光时间短，通过转动样品板来改变曝光夹角，制备不同周期的光栅；设置第二反射镜，调节更准确，避免干涉；能调节曝光光束的偏振特性，使曝光能量翻倍。