一种电极引入机构及管式等离子体沉积炉

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营口金辰机械股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请涉及一种电极引入机构及管式等离子体沉积炉，其包括包括支撑杆、落舟块以及引电连接线，两根所述支撑杆并排设置于所述石墨舟下方，且每根所述支撑杆的端部分别连接管式等离子体沉积炉的炉口法兰和炉尾法兰；至少一对所述落舟块套设于支撑杆上，所述落舟块用于导通所述石墨舟的舟角；所述引电连接线连接所述落舟块，所述引电连接线用于导通外部电源与落舟块。该机构采用石墨舟舟角放电方式，无需采用过长电极杆，避免了电极杆变形问题，降低了对石墨舟的进舟定位精度和重复性要求，提高了设备运行稳定。