一种PVD产线的分片设备

专利主权项内容

1.一种PVD产线的分片设备，其特征在于，包括：进片室，所述进片室连接加热室，在所述进片室与所述加热室之间设置第一门阀，所述加热室连接第一缓冲室，在所述加热室与所述第一缓冲室之间连接第二门阀，所述第一缓冲室连接追片单元，所述追片单元连接工艺室，所述工艺室连接分片单元，所述分片单元连接第二缓冲室，所述第二缓冲室连接冷却室，在所述第二缓冲室与所述冷却室之间设置第三门阀，各腔室利用伺服电机传送载板行进，其中，所述进片室、加热室、第一缓冲室、第二缓冲室和冷却室这五个腔室内分别安装A、B、C三个传感器，A传感器安装于所在腔室内前端，用于检测载板开始进入本工位，B传感器安装于所在腔室内后端，用于检测载板完全进入本工位，C传感器安装于所在腔室内尾端，用于检测载板开始离开本工位，所述分片单元至少设置D、E两个传感器，其中，所述D传感器位于分片单元的前端，E传感器位于分片单元的尾端，所述D、E两个传感器之间的距离为分片距离。