一种薄膜沉积加热炉

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鹏城半导体技术(深圳)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型一种薄膜沉积加热炉，属于薄膜沉积技术领域，包括加热本体和炉盖等。其中，加热本体具有第一表面，第一表面上开设有开口和与该开口相连通的加热真空腔，第一表面除加热真空腔部分为第一环形台面。炉盖具有第二表面，第二表面靠近外壳的一侧具有凸块，凸块的一部分由开口伸入至加热真空腔内，第二表面除凸块的部分为第二环形台面。且所述第一环形台面和所述第二环形台面贴合。第一环形台面和第二环形台面上开设有若干个相对应的安装槽，八角垫设置于安装槽内。这样一来，凸块由开口伸入到加热真空腔可以进行一定的限位，从而保证炉盖的稳定性。通过八角垫可以进一步稳固第一环形台面和第二环形台面之间的密闭性和连接稳固性。