PECVD加热腔室

专利主权项内容

1.一种PECVD加热腔室，其特征在于，包括：真空腔体，在所述真空腔体内设置装载组件和加热组件，所述装载组件用于装载待加热件，加热组件至少部分设置在真空腔体内，所述加热组件包括上、下加热板，且与所述装载组件的上、下部位对应设置，所述上加热板对应一上连接装置，所述上连接装置包括位于真空腔体上面四个角的第一支撑块、第二支撑块、第三支撑块和第四支撑块，其中，第一支撑块与第二支撑块之间通过第一T型连接件设置第一连杆，第三支撑块与第四支撑块之间通过第二T型连接件设置第二连杆，第一T型连接件与第二T型连接件之间通过第三T型连接件设置第三连杆，所述第三T型连接件两边设置上主转轴与伺服电机，所述上加热板靠上主转轴旋转和升降，所述下加热板对应一下连接装置，下连接装置与上连接装置的结构相同，所述下连接装置包括位于真空腔体下面四个角的第一支撑块、第二支撑块、第三支撑块和第四支撑块，其中，第一支撑块与第二支撑块之间通过第一T型连接件设置第一连杆，第三支撑块与第四支撑块之间通过第二T型连接件设置第二连杆，第一T型连接件与第二T型连接件之间通过第三T型连接件设置第三连杆，第三T型连接件两边设置下主转轴与伺服电机，所述下加热板靠下主转轴旋转和升降。