一种管式PECVD设备的带阻热结构的石墨舟感应器

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苏州拓升智能装备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种管式PECVD设备的带阻热结构的石墨舟感应器，包括：钣金罩壳、设置于钣金罩壳两侧的左地脚钣金、右地脚钣金以及设置于钣金罩壳内的激光测距感应器，所述钣金罩壳朝向石墨舟的前端面上开设有方便激光穿过的窗口，所述钣金罩壳上位于所述窗口的外围设置有石英安装板，所述石英安装板为“U”型结构且设置有卡槽，所述卡槽内插入设置有石英玻璃，所述钣金罩壳相对于左地脚钣金、右地脚钣金可调整角度以方便激光测距感应器的激光穿过石英玻璃后照射所述石墨舟，本实用新型的石墨舟感应器，激光测距感应器的激光透过石英玻璃照射石墨舟，可以很好的保护了其不受高温的影响。