提高金刚石膜均匀性的MPCVD装置

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中国电子科技集团公司第四十六研究所取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供了一种提高金刚石膜均匀性的MPCVD装置，所述提高金刚石膜均匀性的MPCVD装置包括反应腔室、样品台和微波组件，反应腔室顶部中心设有进气口，底部侧面均匀开设有多个出气口；样品台在反应腔室内，与反应腔室底部中心连接；微波组件设在反应腔室一侧，与反应腔室连接并连通。本实用新型提供的提高金刚石膜均匀性的MPCVD装置，在底部均匀开设有至少四个出气口，改变了气体流动方式，提高了腔室内气体流场分布均匀性，从而提高衬底表面温度、腔室内活性基团分布均匀性，进而提高金刚石膜的质量和均匀性。