一种单晶炉及其生长装置

专利主权项内容

1.一种单晶炉及其生长装置，包括装置外壳(1)，其特征在于：所述装置外壳(1)的内部固定连接有气动伸缩杆(2)，所述气动伸缩杆(2)分布于装置外壳(1)的侧壁及顶部，所述气动伸缩杆(2)的延伸端固定连接有柔性按压球(3)，所述装置外壳(1)的内部固定连接有坩埚(4)，所述柔性按压球(3)与坩埚(4)挤压贴合，所述坩埚(4)侧壁的内部呈螺纹状固定连接有螺纹导热丝(5)，所述装置外壳(1)的顶部转动连接有可翻转密封框(7)，所述可翻转密封框(7)的侧壁固定连接有进气机构，所述可翻转密封框(7)的底部固定连接有固定封板(10)，所述固定封板(10)的两侧均固定连接有吸尘风扇(11)，所述固定封板(10)的两侧均开设有清洁口(12)，所述吸尘风扇(11)与清洁口(12)的内部连通，所述清洁口(12)的一侧设置有封闭机构。