一种用于晶体炉的抽气管道

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1.一种用于晶体炉的抽气管道，包括管道(1)、波纹管(2)、三通管道(3)、四通接头(6)、球阀(8)、温度传感器(11)、弯头(13)、立管(15)和冷却套(16)，其特征是：所述管道(1)间隔设置为两根，两根管道(1)的右端头分别通过波纹管(2)连接三通管道(3)的第一和第二端口，三通管道(3)的第三端口连接四通接头(6)的左端口，所述四通接头(6)的下端口连接球阀(8)，四通接头(6)的上端口和右端口作为四通接头(6)的上清灰口和右清灰口，在四通接头(6)的上清灰口和右清灰口上分别设有四通接头清灰口上盖板(5)和四通接头清灰口右盖板(7)，两管道(1)的左端口作为管道清灰口和泄压口，在两管道(1)的左端口分别设置管道清灰口盖板(14)，在两管道(1)外缘面的上方分别设有立管(15)，两立管(15)的上端头分别连接冷却套(16)，两冷却套(16)分别连接晶体炉的抽气口或两冷却套(16)分别通过管道连接晶体炉的抽气口，两立管(15)的下端头分别通过弯头(13)连通两管道(1)，在其中一个立管(15)右侧的管道(1)的外缘面或在两立管(15)右侧的两管道(1)的外缘面分别设有测温接口(10)，在每个测温接口(10)上分别设有温度传感器(11)，所述温度传感器(11)连接晶体炉的控制系统。 更多数据：