一种用于生长高质量碳化硅晶体的籽晶托

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合肥世纪金芯半导体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及碳化硅晶体生长技术领域，尤其为一种用于生长高质量碳化硅晶体的籽晶托，包括坩埚盖和坩埚，所述坩埚盖设置在坩埚顶部，所述坩埚盖内部盖壁上固定连接有石墨导热盘，所述石墨导热盘边缘处呈圆周阵列固定设置有金刚石导热凸起，所述石墨导热盘下表面固定连接有石墨安装筒，所述石墨安装筒下端设置有籽晶托盘，所述籽晶托盘上表面固定连接有金刚石安装柱。本实用新型中，通过设置的金刚石安装柱和金刚石导热凸起，通过金刚石安装柱可以减小籽晶托盘中间与边缘之间的温差，保障安装在籽晶托上的籽晶受热均匀，籽晶上面生成的单晶内部应力小，达到实现生成高品质的单晶的目的。