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一种垂直浸洗蚀刻装置
摘要文本
亚智系统科技(苏州)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型公开了一种垂直浸洗蚀刻装置,包括:垂直固定件,所述垂直固定件内部开设有反应腔,所述反应腔的开口用于密封连接待加工件,使所述待加工件的刻蚀面垂直于水平面并位于所述反应腔的内侧;所述反应腔的底部设置有刻蚀液的输入口,用于刻蚀液从底部注入直至充满所述反应腔;排液阀,所述排液阀连接在反应腔的底部,用于将反应后的刻蚀液,和/或,清洁后的纯水从反应腔内排出;所述反应腔的底部设置有进水口,用于使纯水从底部注入直至充满所述反应腔使清洗刻蚀后的刻蚀面。
专利主权项内容
1.一种垂直浸洗蚀刻装置,其特征在于,包括:
垂直固定件,所述垂直固定件内部开设有反应腔,所述反应腔的开口用于密封连接待加工件,使所述待加工件的刻蚀面垂直于水平面并位于所述反应腔的内侧;
所述反应腔的底部设置有刻蚀液的输入口,用于刻蚀液从底部注入直至充满所述反应腔;
排液阀,所述排液阀连接在反应腔的底部,用于将反应后的刻蚀液,和/或,清洁后的纯水从反应腔内排出;
所述反应腔的底部设置有进水口,用于使纯水从底部注入直至充满所述反应腔使清洗刻蚀后的刻蚀面。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种垂直浸洗蚀刻装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323490163.6 |
| 申请日 | 2023/12/20 |
| 公告号 | CN222071877U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 亚智系统科技(苏州)有限公司 |
| 发明人 | 颜英哲; 詹森雄 |
| 地址 | 江苏省苏州市高新区嘉陵江路405号 |