← 返回列表

一种垂直浸洗蚀刻装置

申请号: CN202323490163.6
申请人: 亚智系统科技(苏州)有限公司
更新日期: 2026-04-22

摘要文本

亚智系统科技(苏州)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型公开了一种垂直浸洗蚀刻装置,包括:垂直固定件,所述垂直固定件内部开设有反应腔,所述反应腔的开口用于密封连接待加工件,使所述待加工件的刻蚀面垂直于水平面并位于所述反应腔的内侧;所述反应腔的底部设置有刻蚀液的输入口,用于刻蚀液从底部注入直至充满所述反应腔;排液阀,所述排液阀连接在反应腔的底部,用于将反应后的刻蚀液,和/或,清洁后的纯水从反应腔内排出;所述反应腔的底部设置有进水口,用于使纯水从底部注入直至充满所述反应腔使清洗刻蚀后的刻蚀面。

专利主权项内容

1.一种垂直浸洗蚀刻装置,其特征在于,包括:
垂直固定件,所述垂直固定件内部开设有反应腔,所述反应腔的开口用于密封连接待加工件,使所述待加工件的刻蚀面垂直于水平面并位于所述反应腔的内侧;
所述反应腔的底部设置有刻蚀液的输入口,用于刻蚀液从底部注入直至充满所述反应腔;
排液阀,所述排液阀连接在反应腔的底部,用于将反应后的刻蚀液,和/或,清洁后的纯水从反应腔内排出;
所述反应腔的底部设置有进水口,用于使纯水从底部注入直至充满所述反应腔使清洗刻蚀后的刻蚀面。

专利申请信息

项目 内容
专利名称 一种垂直浸洗蚀刻装置
专利类型 实用新型
申请号 CN202323490163.6
申请日 2023/12/20
公告号 CN222071877U
公开日 2024/11/26
IPC主分类号 H01L21/67
权利人 亚智系统科技(苏州)有限公司
发明人 颜英哲; 詹森雄
地址 江苏省苏州市高新区嘉陵江路405号