激光退火设备

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湖北江城芯片中试服务有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请实施例公开了一种激光退火设备。其中，该激光退火设备包括反应腔、进气装置和排气装置；进气装置，位于反应腔的一侧；进气装置包括进气管、进气沟槽和加热组件；进气管，与进气沟槽连通，用于输送气体至进气沟槽；进气沟槽，与反应腔连通，用于暂存气体并输送气体至反应腔；加热组件，位于进气沟槽内，用于对输送至反应腔的气体进行加热；排气装置，位于反应腔的另一侧，用于排出反应腔内的气体。