一种用于硅片的冷却装置

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赛姆柯(苏州)智能科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及一种用于硅片的冷却装置，包括第一腔室、第二腔室、第三腔室，第一腔室位于第二腔室的下方并与第二腔室贯通，第三腔室与第二腔室相邻并与第二腔室贯通，第三腔室内放置有硅片；第一腔室内设置有风机，第二腔室内设置有过滤部件、导向板，过滤部件与导向板沿一水平方向的前后设置，导向板较过滤部件靠近第三腔室，导向板上开设有多个开孔，开孔中心线沿一水平方向延伸。本实用新型提供的用于硅片的冷却装置，通过风机引入外部的冷空气，过滤部件过滤空气中杂质，导向板使得风通过水平方向均匀吹向硅片，散热效果好；本装置结构简单、有效地提供洁净气流，操作维护简单，成本低廉。