一种UV解胶机

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上海倍弗仑半导体设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种UV解胶机，包括机柜箱体、晶圆载物台、传感器机构、解胶挡板、UV照射灯、进出料门、供电模块、背门和氮气充气机构，机柜箱体内设有晶圆载物台，晶圆载物台上设有传感器机构，晶圆载物台下设有解胶挡板，解胶挡板中间设有对应晶圆尺寸的照射孔，解胶挡板下设有UV照射灯，UV照射灯发出的灯光透过解胶挡板的照射孔，机柜箱体的一侧设有进出料门，进出料门与供电模块连接，机柜箱体的另一侧设有背门，机柜箱体上还设有氮气充气机构。采用上述技术方案制成了一种有效实用的UV解胶机。UV解胶机为密闭式箱体设计，解胶过程中可注入氮气，保证解胶仓内环境稳定。设备还配备了光照强度传感器，可监测光照强度，并据此监控光源状态。