具有不同储存框架的晶圆盒

专利主权项内容

1.一种具有不同储存框架的晶圆盒，其特征在于：所述晶圆盒包括：
一底座；
一第一储存框架，所述第一储存框架能够可拆卸地组合在所述底座上，而且所述第一储存框架配置为储存至少一第一晶圆片，所述第一储存框架包含一第一架体及多个第一容置槽，所述第一容置槽形成在所述第一架体的一内表面，而且所述第一晶圆片放置在对应的第一容置槽中；
一第二储存框架，所述第二储存框架能够可拆卸地组合在所述底座上，而且所述第二储存框架配置为储存至少一第二晶圆片，所述第二储存框架包含一第二架体及多个第二容置槽，所述第二容置槽形成在所述第二架体的一内表面，而且所述第二晶圆片放置在对应的第二容置槽中；及
一盖体，所述盖体配置为组合在所述底座上；
其中所述第一晶圆片的尺寸大于所述第二晶圆片的尺寸，所述第一晶圆片投影至所述底座的一圆周定义为一第一圆弧轮廓，所述第二晶圆片投影至所述底座的一圆周定义为一第二圆弧轮廓，所述第一圆弧轮廓与所述第二圆弧轮廓之间形成一重合部分。