一种晶圆升降水下吸附载台机构

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津上智造智能科技江苏有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种晶圆升降水下吸附载台机构，涉及半导体制造技术领域，包括调整板和调整机构，所述调整机构设置于调整板顶部的外侧，所述调整机构包括无油衬套、槽口、定位旋钮、圆形孔和滑杆，所述无油衬套活动连接在调整板的顶部，所述槽口开设在无油衬套顶部的内侧，所述定位旋钮活动连接在槽口的内侧且与调整板固定连接。该一种晶圆升降水下吸附载台机构，通过设置调整机构，可以有效地实现装置在使用过程中具备实现精确调节、稳定固定、方便操作以及可靠性和耐用性等功能，从而提高晶圆升降水下吸附载台机构在使用过程中的性能和效果，采用无油衬套和滑杆结构，可以减少摩擦和磨损，提高装置的可靠性和耐用性。