一种晶圆盘夹紧装置

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纽豹智能识别技术(无锡)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种晶圆盘夹紧装置，包括底板，底板安装有固定板和夹紧机构，固定板设置有导向槽，晶圆盘嵌入于导向槽中，夹紧机构包括与底板连接的底座、安装于底座上的驱动机构以及与驱动机构连接的压块，底座上设置有可旋转的导向轴，压块朝向底座的一端设置有与导向轴抵接的斜面。该装置可以适用不同尺寸规格的晶圆盘，通用性强，能够使晶圆盘被紧紧固定在导向槽中，夹紧固定牢固，能够顺利完成晶圆盘生产工艺中的翻转、平移等动作；该装置还能够实现对夹紧、松开两种工作状态的识别功能，使得晶圆盘夹紧装置在松开状态下被光电传感器识别，避免在夹紧装置松开状态下对晶圆盘进行翻转、平移等动作，从而能够避免造成晶圆盘掉落损坏等问题。