一种晶圆键合结构

摘要文本

光华临港工程应用技术研发(上海)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型属于晶圆键合技术领域，具体涉及一种晶圆键合结构。本实用新型的晶圆键合结构包括：相互键合的第一晶圆和第二晶圆；至少两个凸台，凸出设置在第一晶圆的键合面上；至少两个凹槽，设置在第二晶圆的键合面上；其中，凹槽与凸台一一对应配合。本实用新型可适用于不同尺寸晶圆和芯片间的自对准键合，适用范围较广，操作便捷，无需价格昂贵的自动对准键合机，可降低生产成本。利用凸台和凹槽的相互配合，实现两键合晶圆的精准定位，有效解决传统晶圆键合过程中晶圆键合偏移大、预对准时间长、键合精准度不高的问题。