一种适用于AGV与光刻机进行对接交互的装置

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成都路维光电有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型属于掩膜版搬运技术领域，具体公开了一种适用于AGV与光刻机进行对接交互的装置，包括安装在光刻机上的上板架，所述上板架的顶部连接有横梁，所述横梁和所述上板架的底部均安装有反射板，所述上板架的下部连接有尺寸调节器，所述尺寸调节器上连接有罩盖，所述罩盖和所述尺寸调节器能够沿所述上板架的长度方向进行调节，所述罩盖的顶部开设有凹槽。本实用新型可以省去转运设备，实现直接对接AGV抓放掩膜版，解决光刻机无法直接与AGV进行对接的问题。