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一种精细线路板的垂直显影设备
申请人信息
- 申请人:苏州轩明视半导体设备科技有限公司
- 申请人地址:215100 江苏省苏州市吴中区越溪街道北官渡路50号3幢产业园11号楼4楼B区
- 发明人: 苏州轩明视半导体设备科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种精细线路板的垂直显影设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420915989.8 |
| 申请日 | 2024/4/29 |
| 公告号 | CN222281049U |
| 公开日 | 2024/12/31 |
| IPC主分类号 | G03F7/30 |
| 权利人 | 苏州轩明视半导体设备科技有限公司 |
| 发明人 | 夏家林; 刘广恩; 李强 |
| 地址 | 江苏省苏州市吴中区越溪街道北官渡路50号3幢产业园11号楼4楼B区 |
摘要文本
苏州轩明视半导体设备科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供一种精细线路板的垂直显影设备，包括并列设置的一流体模块、二流体模块，所述一流体模块喷淋的药液粒子粒径为100‑1000um，所述二流体模块喷淋的药液粒子粒径为5‑40um，包括夹具、喷盘及驱动喷盘移动的摇摆机构，所述夹具上装载有线路板，并通过输送机构在一流体模块、二流体模块之间以垂直状态移动，所述喷盘设有两个，对称设于夹具的前后侧，所述摇摆机构设有两个，每个摇摆机构单独驱动对应的喷盘上下移动。本实用新型实现了精细线路板的高精度显影蚀刻，且成本低，泛用性广。
专利主权项内容
1.一种精细线路板的垂直显影设备，其特征在于：包括并列设置的一流体模块、二流体模块，所述一流体模块设于二流体模块上游，所述一流体模块喷淋的药液粒子粒径为100-1000um，所述二流体模块喷淋的药液粒子粒径为5-40um，二流体模块包括夹具、喷盘及驱动喷盘移动的摇摆机构，所述夹具上装载有线路板，并通过输送机构在一流体模块、二流体模块之间以垂直状态移动，所述喷盘设有两个，对称设于夹具的前后侧，所述摇摆机构也设有两个，与两个喷盘一一对应设置，每个摇摆机构单独驱动对应的喷盘上下移动。。来自马-克-数-据