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一种套刻量测标记
申请人信息
- 申请人:广州增芯科技有限公司
- 申请人地址:511300 广东省广州市增城区宁西街创优路333号
- 发明人: 广州增芯科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种套刻量测标记 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202421297289.3 |
| 申请日 | 2024/6/6 |
| 公告号 | CN222281048U |
| 公开日 | 2024/12/31 |
| IPC主分类号 | G03F7/20 |
| 权利人 | 广州增芯科技有限公司 |
| 发明人 | 邱翔 |
| 地址 | 广东省广州市增城区宁西街创优路333号 |
摘要文本
广州增芯科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，一种套刻量测标记，通过使多个第一图形标记组与多个第二图形标记组一一对应设置，且每个第一图形标记组中的第一图形标记和每个第二图形标记组中的第二图形标记分别一一对应，第一图形标记至少一部分垂直映射落入对应第二图形标记中，第一图形标记至少另一部分垂直映射至对应第二图形标记之外，通过DBO机台对第一图形标记和第二图形标记重叠部分进行量测，得到套刻误差信息；通过IBO机台对第一图形标记第二图形标记非重叠部分进行量测，得到前层信息和当层信息，再对二者进行比较得到套刻误差信息，本实用新型的套刻量测标能分别实现IBO套刻精度量测和DBO的套刻精度量测，从而节省了套刻测量标记在掩模版对应划片槽上所占用的面积。
专利主权项内容
1.一种套刻量测标记，用于对半导体光刻工艺过程中的当前图形层与前一图形层进行套刻偏移的测量，其特征在于，该套刻量测标记包括：
第一套刻标记，设置于所述当前图形层；所述第一套刻标记包括多个第一图形标记组，每个第一图形标记组均分别包括多个第一图形标记；
第二套刻标记，设置于所述前一图形层；所述第二套刻标记包括多个第二图形标记组，每个第二图形标记组均分别包括多个第二图形标记；
其中，所述多个第一图形标记组与所述多个第二图形标记组一一对应设置，且每个第一图形标记组中的第一图形标记和每个第二图形标记组中的第二图形标记分别一一对应，所述第一图形标记至少一部分垂直映射落入对应所述第二图形标记中，所述第一图形标记至少另一部分垂直映射至对应所述第二图形标记之外。