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场像对准照明装置
申请人信息
- 申请人:上海探跃半导体设备有限公司
- 申请人地址:200000 上海市浦东新区宣桥镇宣秋路210号E幢1楼北侧101室
- 发明人: 上海探跃半导体设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 场像对准照明装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202421032016.6 |
| 申请日 | 2024/5/13 |
| 公告号 | CN222281051U |
| 公开日 | 2024/12/31 |
| IPC主分类号 | G03F9/00 |
| 权利人 | 上海探跃半导体设备有限公司 |
| 发明人 | 陈峻峰; 王晓军; 覃建宁; 苏朝腾 |
| 地址 | 上海市浦东新区宣桥镇宣秋路210号E幢1楼北侧101室 |
摘要文本
上海探跃半导体设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型属于步进式光刻设备技术领域，尤其涉及一种场像对准照明装置。场像对准照明装置包括LED灯、灯筒和聚光筒；灯筒一端封闭，LED灯设于灯筒的封闭端内部，并置于封闭端的几何中心；聚光筒设于灯筒内，聚光筒两端同轴，聚光筒沿第一端向第二端方向的内径逐渐增大，第一端靠近LED灯设置，以使LED灯的光线能进入聚光筒中并被聚集后从第二端射出。LED灯通过灯筒和聚光筒直接聚集光线并照射于硅片上，不使用光纤，减少了光纤的制造成本，提高LED灯电能的利用率。
专利主权项内容
1.场像对准照明装置，其特征在于，包括：
LED灯(10)；
灯筒(20)，所述灯筒(20)一端封闭，所述LED灯(10)设于所述灯筒(20)的封闭端内部，并置于所述封闭端的几何中心；
聚光筒(30)，所述聚光筒(30)设于所述灯筒(20)内，所述聚光筒(30)两端同轴，所述聚光筒(30)沿第一端向第二端方向的内径逐渐增大，所述第一端靠近所述LED灯(10)设置，以使所述LED灯(10)的光线能进入所述聚光筒(30)中并被聚集后从所述第二端射出。