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一种提高晶圆表面蚀刻均匀性的装置
摘要文本
南京云极芯半导体科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型属于半导体领域中晶圆的蚀刻装置，公开了一种提高晶圆表面蚀刻均匀性的装置，可以提高晶圆表面蚀刻均匀性。该装置包括：呈真空密封状的腔体、上部射频发生器、下部射频发生器、侧部射频发生器、侧部金属导电线圈、上部金属导电线圈和承载台，承载台位于腔体中，上部射频发生器和上部金属导电线圈连接，上部金属导电线圈位于腔体上方；下部射频发生器位于腔体下方，且通过导线与承载台连接；侧部金属导电线圈通过导轨单元连接在腔体的内壁上，且侧部金属导电线圈和位于腔体外部的侧部射频发生器连接。
专利主权项内容
1.一种提高晶圆表面蚀刻均匀性的装置，其特征在于，所述装置包括：呈真空密封状的腔体(1)、上部射频发生器(2)、下部射频发生器(3)、侧部射频发生器(4)、侧部金属导电线圈(5)、上部金属导电线圈(6)和承载台(7)，其中，
所述承载台(7)位于腔体(1)中，上部射频发生器(2)和上部金属导电线圈(6)连接，上部金属导电线圈(6)位于腔体(1)上方；下部射频发生器(3)位于腔体(1)下方，且通过导线与承载台(7)连接；侧部金属导电线圈(5)通过导轨单元连接在腔体(1)的内壁上，且侧部金属导电线圈(5)和位于腔体(1)外部的侧部射频发生器(4)连接。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种提高晶圆表面蚀刻均匀性的装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202421668068.2 |
| 申请日 | 2024/7/15 |
| 公告号 | CN222281920U |
| 公开日 | 2024/12/31 |
| IPC主分类号 | H01J37/32 |
| 权利人 | 南京云极芯半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 陈刚 |
| 地址 | 江苏省南京市浦口区浦口经济开发区百合路121号 |