基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置

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宁波普利姆半导体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种基于高精度气浮式单轴螺旋运动的大中空检测装置，涉及超高精度检测设备技术领域，其包括：直线驱动组件，具有至少一直线位移动能输出端；旋转驱动组件，具有定位基础部以及旋转装配设于所述定位基础部的旋转动能输出端，所述定位基础部与所述直线驱动组件的直线位移动能输出端之间传动固接装配相连设置，所述旋转动能输出端对应形成晶圆承载面。解决了现有技术中的高精度光学检测设备对应进行超高精度测量时，其整体检测运动路径误差大，稳定性差，测量结果精度低的技术问题。