一种晶圆表面电阻检测装置

专利主权项内容

1.一种晶圆表面电阻检测装置，用于检测晶圆表面各处的电阻值，其特征在于，所述晶圆表面电阻检测装置包括：
底座(1)；
承载件(2)，所述承载件(2)沿第一方向(X)移动设于所述底座(1)，所述承载件(2)用于供所述晶圆放置；
第一驱动件(3)，所述第一驱动件(3)能驱动所述承载件(2)沿所述第一方向(X)移动；
第二驱动件(4)；所述第二驱动件(4)能驱动所述承载件(2)绕其中心轴线旋转以带动所述晶圆旋转；
检测组件(5)，所述检测组件(5)包括第一检测件(511)和第二检测件(512)，所述第一检测件(511)和所述第二检测件(512)均沿第二方向(Z)移动设于所述底座(1)，所述承载件(2)沿所述第一方向(X)移动时，通过所述晶圆的直径的两个端点能依次经过所述第一检测件(511)的检测端或依次经过所述第二检测件(512)的检测端，所述第一检测件(511)和所述第二检测件(512)均用于检测所述晶圆表面各处的电阻。