一种真空低温键合的键合夹具

专利主权项内容

1.一种真空低温键合的键合夹具，该真空低温键合的键合夹具包括安装架(1)，其特征在于，所述安装架(1)顶部一端垂直固定有垂直板(2)，所述安装架(1)顶部处安装有夹具本体(4)，所述夹具本体(4)包括固定在所述安装架(1)顶部处的下夹具(5)，所述下夹具(5)内部设置有容纳腔，所述容纳腔内滑动设置有支撑盘(6)，所述下夹具(5)靠近所述垂直板(2)的一端通过合页铰接安装有上夹具(7)，所述垂直板(2)朝向所述上夹具(7)的一侧边上垂直开设有升降腔，升降腔内安装有支撑组件(14)；
所述支撑组件(14)包括垂直转动设置在升降腔内的丝杆(17)，所述丝杆(17)上套设安装有滑动块(16)，所述滑动块(16)与所述丝杆(17)之间螺纹配合，所述滑动块(16)与所述上夹具(7)之间铰接安装有支杆(18)，所述垂直板(2)顶部处安装有辅助丝杆(17)转动的支撑电机(15)。