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一种载入口转接底座及半导体设备
摘要文本
无锡卓海科技股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型属于半导体设备技术领域，公开了一种载入口转接底座及半导体设备。载入口转接底座包括顶板、底板，检测组件和调节组件，顶板用于承载装有晶圆的晶圆卡匣，底板与载入口底座连接，检测组件被配置为检测装载于晶圆卡匣内的晶圆是否与预设取片平面相平行，调节组件包括调节柱，调节柱包括相背设置的第一端和第二端，第一端沿Z方向可活动地连接于第一调节孔中，第二端沿Z方向可活动地连接于第二调节孔中，通过转动调节柱可以方便地调节顶板的高度或水平度，从而使承载于晶圆卡匣内的晶圆与预设取片平面相平行。该半导体设备包括取片手臂和上述的载入口转接底座，能够将不同尺寸的晶圆载入通用的半导体设备中，且降低晶圆的损坏率。。
专利主权项内容
1.一种载入口转接底座，其特征在于，包括：
顶板(10)，用于承载装有晶圆(300)的晶圆卡匣(100)，所述顶板(10)上设置有第一调节孔；
底板(20)，所述底板(20)用于与载入口底座(200)相连接，所述底板(20)上设置有第二调节孔(21)；
检测组件(30)，被配置为检测装载于所述晶圆卡匣(100)内的晶圆(300)是否与预设取片平面相平行；
调节组件(40)，所述调节组件(40)的数量至少为两个，所述调节组件(40)包括调节柱(41)，所述调节柱(41)包括相背设置的第一端(411)和第二端(412)；
所述第一端(411)沿Z方向可活动地连接于所述第一调节孔中；和/或所述第二端(412)沿Z方向可活动地连接于所述第二调节孔(21)中；
其中，所述Z方向为所述载入口转接底座的高度方向。。来自马-克-数-据
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种载入口转接底座及半导体设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202421025929.5 |
| 申请日 | 2024/5/13 |
| 公告号 | CN222281944U |
| 公开日 | 2024/12/31 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 无锡卓海科技股份有限公司 |
| 发明人 | 耿晓杨; 相宇阳; 王文超 |
| 地址 | 江苏省无锡市新吴区珠江路97号 |