一种半导体晶圆片腐蚀笼

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磐石创新(江苏)电子装备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种半导体晶圆片腐蚀笼，包括左侧限位支撑板和右侧滑动支撑板，所述左侧限位支撑板和右侧滑动支撑板之间通过限位阶梯通杆贯穿固定为一体且左侧限位支撑板和右侧滑动支撑板的外侧均设有方形转轴，所述左侧限位支撑板和右侧滑动支撑板之间的底部两侧还连接有限位阶梯花轴，所述左侧限位支撑板和右侧滑动支撑板上均设有第一弧形滑槽且两侧的第一弧形滑槽内滑动设有调节阶梯花轴，所述调节阶梯花轴以及限位阶梯花轴上均设有若干用于放置半导体硅晶圆片的槽口。本申请与现有技术相比优点在于：本结构可精确定位限位花轴及调节花轴上的卡槽距离，架构坚固耐用，且装、取硅晶圆片及其方便，操作高效。