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一种用于酸腐蚀机上的腐蚀笼锁紧及自转装置

申请号: CN202420763254.8
申请人: 磐石创新(江苏)电子装备有限公司
更新日期: 2026-04-25

摘要文本

磐石创新(江苏)电子装备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型公开了一种用于酸腐蚀机上的腐蚀笼锁紧及自转装置,包括U型支撑架体,所述U型支撑架体的两侧分别设有主动旋转机构和从动旋转机构,所述主动旋转机构和从动旋转机构上分别设有用于固定腐蚀笼的传动锁定承载机构和从动锁定承载机构,所述U型支撑架体内还安装有动能输出机构以及与动能输出机构配合的动能传递机构,所述动能输出机构通过动能传递机构驱动主动旋转机构的转动。该设计结构简单,便于腐蚀笼的装载及拆卸,且腐蚀笼装上后可以锁定翻转总成融为一体,与锁定翻转总成中的每个零部件精密配合,结构强度高,可承受装满100片晶圆片的腐蚀笼的重载。

专利主权项内容

1.一种用于酸腐蚀机上的腐蚀笼锁紧及自转装置,其特征在于,包括U型支撑架体(1),所述U型支撑架体(1)的两侧分别设有主动旋转机构(6)和从动旋转机构(5),所述主动旋转机构(6)和从动旋转机构(5)上分别设有用于固定腐蚀笼(9)的传动锁定承载机构(3)和从动锁定承载机构(2),所述U型支撑架体(1)内还安装有动能输出机构(8)以及与动能输出机构(8)配合的动能传递机构(7),所述动能输出机构(8)通过动能传递机构(7)驱动主动旋转机构(6)的转动。

专利申请信息

项目 内容
专利名称 一种用于酸腐蚀机上的腐蚀笼锁紧及自转装置
专利类型 实用新型
申请号 CN202420763254.8
申请日 2024/4/15
公告号 CN222281965U
公开日 2024/12/31
IPC主分类号 H01L21/687
权利人 磐石创新(江苏)电子装备有限公司
发明人 王云飞; 贾世杰; 魏守冲
地址 江苏省徐州市贾汪区徐州工业园区中经一路西侧