一种可以实现晶圆夹持及翻转的结构

专利主权项内容

1.一种可以实现晶圆夹持及翻转的结构，其特征在于，包括，
固定框架(1)；
夹持装置(2)，设于所述固定框架(1)上，包括，
左侧夹齿固定板(201)和右侧夹齿固定板(202)，可沿一旋转轴的轴线方向相互靠近或远离运动地设于所述固定框架(1)的架体间，所述左侧夹齿固定板(201)和所述右侧夹齿固定板(202)相对的一侧上均设有第一晶圆夹齿(203)和第二晶圆夹齿(204)；
左侧驱动机构(205)，设于所述固定框架(1)的左侧，连接所述左侧夹齿固定板(201)驱动所述左侧夹齿固定板(201)移动；
右侧驱动机构(206)，设于所述固定框架(1)的右侧，连接所述右侧夹齿固定板(202)驱动所述右侧夹齿固定板(202)移动；
翻转装置(3)，设于所述固定框架(1)上，包括，
左侧翻转板(301)和右侧翻转板(302)，可沿所述旋转轴转动地设于所述固定框架(1)的架体间，所述左侧翻转板(301)和所述右侧翻转板(302)通过连杆(303)连接，所述左侧夹齿固定板(201)连接所述左侧翻转板(301)，所述右侧夹齿固定板(202)连接所述右侧翻转板(302)；
旋转机构(304)，设于所述固定框架(1)的右侧，所述旋转机构(304)的输出端伸入所述固定框架(1)的架体内连接所述右侧翻转板(302)驱动所述右侧翻转板(302)转动。