一种硅片移载抓取装置

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曼弗莱德智能制造(江苏)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种硅片移载抓取装置，属于硅片移载抓取技术领域，包括抓取部，所述抓取部包括抓取安装架、设置于所述抓取安装架上的抓取气缸以及对硅片进行抓取的抓取组，所述抓取安装架上设置有若干位置传感器，所述位置传感器沿所述抓取气缸的驱动方向设置，所述抓取气缸包括定端与动端，所述抓取气缸对硅片抓取后，所述动端与其中一位置传感器对应，所述抓取组对硅片进行抓取；移载部，所述移载部对所述抓取部进行移载。本实用新型的移载抓取装置能够对不同厚度规格的硅片进行抓取，其通用性更强，在实际使用中能够根据位置传感器与动端的位置对应关系，即可对硅片的抓取数量进行快速确定，从而保证后续存放操作的顺利进行。