机械手传动装置及晶圆转运机构

专利主权项内容

1.机械手传动装置，其特征在于，所述机械手传动装置包括：
模组基座(1)；
转运组件(2)，所述转运组件(2)包括转运台(21)、传动丝杠(22)、丝杠螺母(23)、滑轨(24)和驱动件(25)，所述滑轨(24)连接于所述模组基座(1)上，所述转运台(21)可滑动地设于所述滑轨(24)上，并用于承载机械手，所述丝杠螺母(23)与所述转运台(21)连接，所述传动丝杠(22)一端可转动地连接于所述模组基座(1)上，另一端穿过所述丝杠螺母(23)与所述驱动件(25)连接，所述驱动件(25)用于驱动所述传动丝杠(22)旋转；
检测组件(3)，所述检测组件(3)包括位置检测板(31)、传感器群组(32)、编码器(33)和中控器，所述位置检测板(31)垂直连接于所述模组基座(1)上，所述位置检测板(31)上开设有多个不同尺寸的感应缺口(311)，所述传感器群组(32)与所述转运台(21)连接，所述传感器群组(32)通过覆盖所述位置检测板(31)上多个不同的所述感应缺口(311)，用于组成多种不同的电信号，所述编码器(33)用于检测所述传动丝杠(22)的角位移，并将其转换成数字信号，所述中控器用于接收和比对所述电信号和所述数字信号，以确定所述转运台(21)的位置是否准确。