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适用于不同规格半导体晶片的承载固定装置

申请号: CN202421092094.5
申请人: 南通师芯半导体设备有限公司
更新日期: 2026-04-25

摘要文本

南通师芯半导体设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型公开了适用于不同规格半导体晶片的承载固定装置,涉及半导体晶片承载固定技术领域,包括圆盘;该圆盘边缘开设有凹槽,其中在凹槽内,通过转轴活动安装有调节臂,所述的调节臂设置有多个;该调节臂呈弧形设置;所述的调节臂上开设有多个便于撑杆安装的安装孔;其中安装孔呈沉孔设置;所述的撑杆一侧呈一体设置有多个放置板;在调节臂连接的转轴的底部设置有从动齿轮,多个从动齿轮内部与齿盘配合,齿盘中心与主动齿轮配合,主动齿轮安装在驱动电机的输出轴上,这样通过转动齿轮带动齿盘转动的同时,实现齿盘带动多个从动齿轮同时转动,有效的保证多个调节臂同时调节与圆盘之间的间距。

专利主权项内容

1.适用于不同规格半导体晶片的承载固定装置,其特征在于:包括圆盘(1);该圆盘(1)边缘开设有凹槽,其中在凹槽内,通过转轴(6)活动安装有调节臂(2),所述的调节臂(2)设置有多个;该调节臂(2)呈弧形设置;所述的调节臂(2)上开设有多个便于撑杆(4)安装的安装孔(3);其中安装孔(3)呈沉孔设置;所述的撑杆(4)一侧呈一体设置有多个放置板(5)。

专利申请信息

项目 内容
专利名称 适用于不同规格半导体晶片的承载固定装置
专利类型 实用新型
申请号 CN202421092094.5
申请日 2024/5/20
公告号 CN222281971U
公开日 2024/12/31
IPC主分类号 H01L21/687
权利人 南通师芯半导体设备有限公司
发明人 王云靖
地址 江苏省南通市开发区竹行街道新兴路10号联动U谷5-101