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一种晶圆盒
申请人信息
- 申请人:盛合晶微半导体(江阴)有限公司
- 申请人地址:214437 江苏省无锡市江阴市长山大道78号(经营场所 : 江阴市东盛西路9号)
- 发明人: 盛合晶微半导体(江阴)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆盒 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323475267.X |
| 申请日 | 2023/12/19 |
| 公告号 | CN222051712U |
| 公开日 | 2024/11/22 |
| IPC主分类号 | H01L21/673 |
| 权利人 | 盛合晶微半导体(江阴)有限公司 |
| 发明人 | 孙娜; 董攀林 |
| 地址 | 江苏省无锡市江阴市东盛西路9号 |
摘要文本
盛合晶微半导体(江阴)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及一种晶圆盒，包括盒体、挡板、插盖、推板、卡扣、传感器、及指示灯；插盖插在插槽内并位于挡板与盒体之间；推板通过卡扣连接在盒体的顶部；传感器分别位于盒体的顶部和底部，指示灯连接在挡板上。本实用新型的优点在于：插入式插盖的封闭方式，相比于常规外开式盖体，插盖始终在插槽内移动，减少了插盖的变形，对盒体紧闭性效果更好；推板配合卡扣进一步加强了插盖的牢固性，将插盖定位在插槽内，避免插盖松动，导致晶圆从开口处掉落；盒体上下设置传感器，实时监测插盖的位置状态，并通过指示灯直观体现，方便工作人员根据指示灯状态，立即发现盒体异常状况及时处理。
专利主权项内容
1.一种晶圆盒，其特征在于，包括盒体、挡板、插盖、推板、卡扣、传感器、及指示灯；
所述盒体的单边开口；
所述挡板的中部设有贯穿口，所述挡板的顶边伸出所述盒体的顶部；所述挡板的底部设有连接板，所述挡板通过所述连接板连接在所述盒体的开口处，所述挡板设有插槽，所述插盖插在所述插槽内并位于所述挡板与所述盒体之间；
所述推板通过所述卡扣连接在所述盒体的顶部；
所述传感器为若干个，若干个所述传感器分别位于所述盒体的顶部和底部，所述指示灯连接在所述挡板上。